חיממן לייבוש שבבי גלאי MEMS
כאשר מייבשים שבבי חיישני MEMS לאחר ניקוי כימי, יש צורך בחום – ויש צורך בו במהירות. אך יש בעיה: אם עובדים עם אדים דליקים או נפיצים, מנורת אינפרא-אדום...
בדיקת צריכת האנרגיה של מתקן הייבוש
הפסיקו לחמם את המכונה שלכם, והתחילו לחמם את הוואפרים שלכם.
האם נגעתם פעם בדפנות חדר הייבוש, והרגשתם כאילו העור שלכם נשרף? זו תופעה שנקראת “חימום...
ייבוש מסך החימום עבור הוופר
בקו הייצור, ייבוש המסכה של החומר המשמש לחיבור הרכיבים אינו שלב נפרד – זו למעשה שלב תרמי שאחראי על שמירה על שלמות התבנית לאחר תהליך הליתוגרפיה. אם יש...
חיממן לייבוש שבבים לאחר תהליך CMP
ייבוש לאחר תהליך CMP הוא אחד מגורמי הפגיעה באיכות המוצר במפעל. סימני מים, שריטות זעירות והצטברות של חלקיקים נובעים בדרך כלל מאותו גורם – טמפרטורות לא...
מחמם ייבוש וופרת מיקרו LED
Out on the line, one hot spot can kill an entire carrier of Micro LED epiwafers. Soft bake and hard bake aren’t just parameters on a...