http://carbon-ir-heater.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוטורזיסט on מתקדם פחמן מחממי אינפרא-אדום Hugo he Thu, 02 Jul 2026 03:27:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/he/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Thu, 02 Jul 2026 03:27:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/he/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="המנורה האינפרא אדומה הטובה ביותר לשימוש עם חומרי פוטורזיסט."></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, כל שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה עלול לגרום לשינויים בתכונות החומר הפוטורזיסטיבי. שליטה בעובי הקווים, באיכות ההדבקה, בצפיפות הפגמים – כל אלו תלויים בשליטה המדויקת בטמפרטורה. יצרנו את המנורות באינפרא-אדום שלנו כדי לשמור על שליטה מדויקת בטמפרטורה.</p> <p>העקרון הטכני פשוט: קרני האינפרא-אדום הקצרות פוגעות ישירות בוואף, גורמות לעלייה מהירה בטמפרטורה, ושומרות על אחידות מדויקת. אנו משתמשים בגלאי קוורץ-הלוגן שמאפשרים עלייה מהירה בטמפרטורה ושמירה על מצב יציב, כך שהאחידות בטמפרטורה על פני כל שטח האפייה נשמרת בטווח של ±0.1°C. תהליכי האפייה השונים מתבצעים עם שליטה מדויקת בטמפרטורה, כך שהמידות החיוניות נשארות בטווח המותר מדגם לדגם.</p> http://carbon-ir-heater.com/he/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800 http://carbon-ir-heater.com/he/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מנורת אינפרא אדום לייבוש חומר הצילום"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, כל שינוי קטן בטמפרטורה יכול לגרום לשינויים משמעותיים בממדים של החומרים המשמשים בתהליך – שינויים שיכולים להגיע לננומטרים. ניתן לראות זאת מיד: עלייה בטמפרטורה, יצירת “גשרים” בין החומרים השונים – ובסופו של דבר מדובר בחומרים שאינם ראויים לשימוש. פיתחנו נורות אינפרא-אדום שמאפשרות שליטה מדויקת בטמפרטורה, כך שהתהליך יהיה אחיד, גם במהלך שעות עבודה ארוכות.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong><br> אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה. החום נכנס ישירות לשכבת הפוטורזיסט, ללא צורך בחימום יתר של החומרים האחרים. כך ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C, והעקומות של חימום החומרים נשארות יציבות. המערכת נשארת נקייה – ללא יצירת חלקיקים, מה שמתאים לחדרי עבודה מסוג Class 1–100. המערכת מתחברת לממשקים הסטנדרטיים של SEMI. הביצועים של המערכת נשארים יציבים לאחר 5,000 שעות עבודה, עם ירידה בעוצמה של פחות מ-5%.</p> http://carbon-ir-heater.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/he/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="מחמם תמיכה להסרת פוטורזיסט"></p> <p>אתם מכירים את הסצנה בקו הוופרים: תא הסטריפ מפסיק לעבוד כי גוף החימום התמיכה סטה ב-0.8°C מהנקודה הרצויה. שאריות הפוטורזיסט נותרות תקועות. עבודות תיקון מצטברות. התפוקה נפגעת.</p> <h2 id="מה-חשוב-מתחת-לפני-השטח">מה חשוב מתחת לפני השטח</h2> <p>בנינו את גוף החימום לתמיכה בהסרת הפוטורזיסט סביב עיקרון אחד – בקרה מדויקת וחוזרת של הטמפרטורה. אחידות ברמת הוופר שומרת על סטייה של ±0.1°C על פני הצ’אק, כך שהתקציב התרמי נשאר מדויק והפרופילים של ההסרה לא משתנים בין אצוות.</p> <p>האלמנט משתמש בחשמל הלוגן בגל קצר במערך קווארץ. זה מספק תגובה מהירה ופליטת חום יציבה, כך שהסטייה מעל לנקודת היעד נמוכה בעת המעבר בין אפייה להסרה.</p>