http://carbon-ir-heater.com/he/tags/%D7%A7%D7%99%D7%A6%D7%95%D7%A0%D7%99/ Recent content in קיצוני on מתקדם פחמן מחממי אינפרא-אדום Hugo he Mon, 22 Jun 2026 19:15:58 +0800 http://carbon-ir-heater.com/he/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 22 Jun 2026 19:15:58 +0800 http://carbon-ir-heater.com/he/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="רכיבי חימום לחומרי הגנה באור אולטרה סגול קיצוני (EUV)"></p> <p>בסביבת הליתוגרפיה EUV, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק שלב תרמי שצריך להתבצע – זהו השלב שבו נקבעת אחידות עובי הקווים וגם רמת הפגמים במוצר הסופי. שינוי של כמה עשיריות מעלה בטמפרטורה – או אפילו נוכחות של חלקיקים זעירים – יכולים לגרום לאי-אחידות באיכות המוצר, ולהפוך את רוב הוופרים לחסרי תועלת. עיצבנו את רכיבי החימום של הפוטורזיסט בצורה שתמנע את השינויים האלה.</p> <p>מה שבאמת חשוב כאן הוא שהמערכת משתמשת בגופי פליטה בגלי אינפרא-אדום קצרים ובינוניים, המותאמים לרמת הספיגה של הפוטורזיסט. כך, פרופיל החימום נשאר יציב לאורך כל הוופר. אחידות הטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.1°C באזור הפעיל, וכך ניתן להשיג עקביות בין אצוות הייצור השונות. המערכת עשויה מקוורץ והלוגן, והיא פועלת בסביבה נקייה לחלוטין – ללא פליטת חלקיקים בתנאי חדר נקי מסוג 1–100. המערכת שומרת על עקביות באיכות המוצר גם במהלך פעולה 24/7, ללא תקלות לא צפויות.</p>