उपचार-ठीक-करना on उन्नत कार्बन इन्फ्रारेड हीटर

प्रमाणित इन्फ्रारेड क्यूरिंग लैंप निर्माण केंद्र

Thu, 23 Jul 2026 09:46:19 +0800

जले हुए लैंपों के कारण अपनी उत्पादकता को नष्ट न होने दें।

उच्च-लोड वाले उत्पादन स्थलों पर, लैंपों के जल जाना केवल एक परेशानी नहीं है… यह तो एक बड़ी समस्या है।
कल्पना कीजिए कि सिलिकॉन वेफरों के ऊपर ही क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाए… तो हर जगह काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ फैल जाएंगे… यह तो तुरंत ही दूसरी समस्याओं का कारण बनेगा… यह न केवल उत्पादन प्रक्रिया को धीमा कर देगा, बल्कि उत्पादकता को भी नष्ट कर देगा।
हमने ऐसी समस्याओं से बचने हेतु विशेष रूप से इन्फ्रारेड क्यूरिंग लैंप बनाए हैं।

वेफर क्यूरिंग लैंप हेतु रिफ्लेक्टर

Mon, 13 Jul 2026 17:13:13 +0800

लीड-फ्री क्यूरिंग हेतु आपके आईआर रिफ्लेक्टर्स क्यों महत्वपूर्ण हैं?

सेमीकंडक्टर उद्योग, लीड-फ्री एवं ऊर्जा-बचत वाले मानकों की ओर तेजी से बढ़ रहा है। लंबे समय तक हमने कन्वेक्शन ओवनों का ही उपयोग किया, लेकिन ईमानदारी से कहें तो, हवा को गर्म करना ऊर्जा की बर्बादी है।
इसीलिए हमने इन्फ्रारेड (IR) क्यूरिंग का उपयोग शुरू किया। इन्फ्रारेड किरणें सीधे वेफर की सतह पर पड़ती हैं। लेकिन यहाँ एक समस्या है – आप बस एक लैंप रखकर काम नहीं कर सकते। आपको ऐसा रिफ्लेक्टर चाहिए जो इस काम के लिए उपयुक्त हो।

फोटोरेजिस्ट को सूखाने हेतु इन्फ्रारेड लैंप

Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, आप जानते ही हैं कि स्थितियाँ कैसी होती हैं। यदि बेकिंग प्रक्रिया में थोड़ा सा भी बदलाव हो जाए, तो इसका प्रभाव नैनोमीटर स्तर पर भी देखने को मिलता है। ऐसी स्थिति में वेफरों की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है… हमने अपने फोटोरेसिस्ट को सुखाने हेतु इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया; इससे ऊष्मा-संबंधी प्रक्रियाओं में स्थिरता बनी रहती है, चाहे वह पीएम विंडो के दौरान ही क्यों न हो।

तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हम तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज एनवेलप वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं। इससे ऊष्मा सीधे फोटोरेसिस्ट पर्त में जाती है, जिससे वेफरों में ±0.1°C की समानता बनी रहती है। हमारे लैंपों के कारण ऊष्मा-संबंधी प्रक्रियाएँ तेज़ी से होती हैं… इससे ऊर्जा-खपत कम हो जाती है।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में ऊष्मा-संबंधी प्रक्रियाओं को नियंत्रित करना बहुत ही महत्वपूर्ण है। हमारे लैंपों के कारण ऊष्मा-संबंधी प्रक्रियाएँ कुछ ही सेकंड में पूरी हो जाती हैं… इससे उत्पादन दर बढ़ जाती है।
यही वजह है कि हमारी प्रणाली 5,000+ घंटों तक स्थिर रहती है… ऊर्जा-खपत में 5% से भी कम कमी होती है।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में ऊष्मा-संबंधी प्रक्रियाओं को नियंत्रित करना बहुत ही महत्वपूर्ण है… ऐसी स्थिरता ही CD नियंत्रण एवं उत्पादन दर को बनाए रखने में मदद करती है। 7×24 घंटों तक काम करने के दौरान भी प्रणाली स्थिर रहती है… रखरखाव भी समय पर ही होता है।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य हैं… इंस्टॉलेशन तो आसान है, लेकिन वेफर की सतह एवं एमिटर एवं सब्सट्रेट के बीच की दूरी को सटीक रूप से नियंत्रित करना आवश्यक है… अन्यथा समानता बिगड़ जाती है।
लैंप का सतह बहुत गर्म होता है… इसलिए ऊष्मा-अलगाव एवं सुरक्षा उपाय आवश्यक हैं… इसके अलावा, एमिटर के स्पेक्ट्रम को फोटोरेसिस्ट की अवशोषण क्षमता के अनुरूप ही रखना आवश्यक है… अलग-अलग फोटोरेसिस्टों के लिए अलग-अलग इन्फ्रारेड प्रोफाइल आवश्यक हैं… इसलिए हम प्रणाली को उसी अनुरूप ही डिज़ाइन करते हैं।