Berhentilah memanaskan dinding alat tersebut (dan mulailah memanaskan wafernya saja). Mencapai suhu yang tepat untuk wafer semikonduktor merupakan...

Di lantai produksi wafer, penyimpangan sebesar setengah derajat selama proses pemanasan dapat mengakibatkan perubahan pada dimensi-dimensi kritis...