Mengobati on Canggih karbon pemanas inframerah

Pabrik lampu pengeringan inframerah yang terakreditasi

Thu, 23 Jul 2026 09:46:19 +0800

Hentikan Kegagalan Lampu yang Merusak Hasil Produksi Anda

Di pabrik dengan beban kerja tinggi, kegagalan lampu bukan sekadar masalah kecil. Itu merupakan bencana sejati. Bayangkan saja jika tabung kuarsa pecah tepat di atas wafer silikon. Batu-batu kaca dan zat kimia akan berserakan di mana-mana. Itu berarti terjadi kontaminasi yang parah. Hal ini tidak hanya memperlambat proses produksi, tetapi juga merusak hasil produksi secara total.

Kami merancang lampu pengering inframerah khusus untuk mencegah hal tersebut terjadi.

Reflektor untuk lampu pengering wafer

Mon, 13 Jul 2026 17:13:13 +0800

Mengapa Reflektor IR Sangat Penting untuk Proses Pencetakan Tanpa Timbal
Dunia semikonduktor terus berupaya mencapai standar penggunaan bahan-bahan yang bebas timbal serta hemat energi. Selama ini, kita menggunakan oven konvensional untuk proses pemanasan, tetapi sejujurnya, memanaskan udara di dalam kotak besar tersebut merupakan pemborosan energi yang sangat besar.

Itulah mengapa kita beralih ke metode pemanasan menggunakan sinar inframerah (IR). Sinar IR dapat langsung mengenai permukaan wafer. Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan: Anda tidak bisa sekadar memasukkan lampu IR ke dalam mesin lalu menganggapnya selesai. Anda membutuhkan reflektor yang benar-benar dirancang khusus untuk tujuan ini.

Lampu inframerah untuk proses pengeringan photoresist

Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800

Di area litografi, Anda tahu bagaimana prosesnya berlangsung. Profil pemanasan yang tidak tepat, meskipun hanya setengah derajat saja, dapat menyebabkan perubahan dimensi kritis hingga beberapa nanometer. Hal ini akan langsung terlihat dari adanya ketidakseragaman pada permukaan wafer. Kita pun harus menghadapi masalah berupa wafer yang tidak bisa digunakan lagi. Kami menggunakan lampu inframerah untuk mengeringkan lapisan fotoresist, sehingga perilaku termalnya tetap stabil, dari shift ke shift, bahkan selama periode pemeliharaan sekalipun.

Yang penting secara teknis:
Kami menggunakan pengeluarkan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek, dengan lapisan kuarsa yang responsif cepat. Panas tersebut langsung masuk ke lapisan fotoresist tanpa memanaskan bahan pembawa muatan, sehingga diperoleh keseragaman suhu pada tingkat wafer sebesar ±0,1°C. Kurva pemanasan yang digunakan juga memastikan bahwa prosesnya tetap berjalan sesuai rencana. Sistem ini juga bebas dari partikel debu, sehingga cocok digunakan di ruang kerja kelas 1–100. Selain itu, sistem ini juga kompatibel dengan antarmuka SEMI standar. Keluaran cahaya tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan intensitas kurang dari 5%.