Pengeringan on Canggih karbon pemanas inframerah

Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Tue, 28 Jul 2026 02:42:31 +0800

Ketika Anda sedang mengeringkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia, Anda membutuhkan panas—dan Anda membutuhkannya dengan cepat. Namun, ada masalahnya: jika Anda bekerja di sekitar uap yang mudah terbakar atau meledak, lampu inframerah biasa bukan hanya alat yang berguna, tetapi juga merupakan sumber risiko.

Tidak ada yang ingin terjadi kebakaran di laboratorium. Itulah sebabnya kami menggunakan metode yang berbeda. Kami menggunakan sistem pengemasan khusus yang memisahkan elemen pemanas dari udara di sekitarnya, sehingga elemen tersebut tetap aman.

Audit energi untuk proses pengeringan di pabrik

Thu, 23 Jul 2026 09:39:02 +0800

Berhentilah memanaskan seluruh bagian mesin Anda, dan mulailah memanaskan wafer-nya saja. Pernahkah Anda menyentuh permukaan ruang pengeringan dan merasakan kulit Anda terbakar? Itulah yang disebut “panas berlebih”. Hal ini terjadi karena sistem pengeringan biasanya memancarkan panas ke segala arah. Energi panas tersebut tidak memiliki tempat untuk pergi, sehingga dinding dalam dan badan mesin menyerapnya seperti spons. Ini merupakan pemborosan energi, dan tentu saja, hal ini juga membahayakan keselamatan orang-orang yang bekerja di sekitar mesin tersebut.

Pemanas pengering wafer Micro LED

Sun, 07 Jun 2026 01:28:05 +0800

Out on the line, satu hot spot dapat merusak seluruh carrier epiwafer Micro LED. Soft bake dan hard bake bukan sekadar parameter di layar—mereka adalah batas tegas antara pola bersih dan lot yang harus dibuang. Oleh karena itu, kami merancang pemanas pengering wafer Micro LED untuk menjalankan tahap termal tersebut sesuai dengan tuntutan fab: tanpa penyimpangan, tanpa partikel, tanpa penghentian mendadak.

Apa yang penting secara teknis
Kami menjaga keseragaman termal di level wafer dalam ±0,1°C di seluruh permukaan chuck. Penyimpangan kecil saja dapat memengaruhi kontrol dimensi kritis dan merusak profil dinding samping. Infrared gelombang pendek memberikan pemanasan cepat tanpa kontak yang menjaga permukaan tetap bersih. Badan pemanas terbuat dari kuarsa dan keramik murni tinggi, dirancang untuk penggunaan di ruang bersih kelas 1–100 dengan generasi partikel yang minimal. Repeatabilitas suhu juga dijaga agar jendela waktu pemanggangan photoresist selalu konsisten—setiap kali, shift demi shift.