Perché i riflettori a infrarossi sono davvero importanti per la cottura senza piombo
Il mondo dei semiconduttori sta facendo grandi sforzi per adottare standard che eliminino l’uso del piombo e riducano il consumo energetico. Per molto tempo abbiamo utilizzato forni a convezione, ma bisogna essere onesti: riscaldare un grosso volume d’aria rappresenta uno spreco enorme di energia.
Ecco perché abbiamo passato all’uso dei riflettori a infrarossi per la cottura. Questi riflettori agiscono direttamente sulla superficie dei wafer. Tuttavia, non basta semplicemente inserire una lampada nell’apparecchiatura: è necessario utilizzare riflettori appositamente progettati per questo scopo.
Smettete di sprecare calore
Pensate a come funziona una lampada a infrarossi: emette calore in tutte le direzioni. Senza un riflettore, metà di quell’energia viene sprecata nel riscaldamento delle pareti dell’apparecchiatura stessa. È uno spreco totale.
Noi progettiamo i nostri riflettori in modo che possano catturare quell’energia residua e rimandarla direttamente sul wafer. In questo modo possiamo aumentare il flusso di calore senza dover aumentare la potenza fornita all’apparecchiatura. È più veloce… molto più veloce. E quando si raggiungono rapidamente le temperature necessarie per la cottura, tutto il ciclo di lavoro diventa più rapido.
I materiali che resistono alla pressione termica
Non utilizziamo materiali di scarsa qualità. Per mantenere tutto pulito e rispettare le normative ambientali, utilizziamo substrati in alluminio ad alta purezza o rivestiti d’oro. Questi materiali riescono a sopportare la forte tensione termica generata dalle lampade a infrarossi senza deformarsi. Ci concentriamo sulla riflessione speculare: in altre parole, la luce viene riflessa come se fosse un riflesso speculare. Se la luce si disperde, si creano delle zone troppo calde, e queste zone possono causare danni ai wafer. Nessuno vuole questo.
La realtà sul campo
Si tratta di un miglioramento che non può essere ignorato così facilmente. Quando si utilizza una superficie ad alta riflettività, si concentra molto calore in un unico punto. Se i ventilatori di raffreddamento non sono sufficienti, si possono verificare problemi. Abbiamo visto dei cavi bruciarsi o delle parti dell’apparecchiatura deformarsi a causa dell’eccessiva densità termica. È necessario trovare il giusto equilibrio tra il punto focale e la distanza dal wafer.
Passare all’uso dei riflettori a infrarossi significa poter eliminare gli solventi chimici e ridurre l’impatto ambientale della sala pulita. È il modo più semplice per far sì che la propria linea di produzione rispetti gli standard senza dover lottare continuamente con l’equipaggiamento.