Fabbricazione della carcassa del riscaldatore in acciaio inossidabile

Mon, 08 Jun 2026 02:49:06 +0800

Sulla linea di litografia, una deriva di 0,5°C durante la cottura del fotoresist non è un errore di poco conto. È una perdita di resa. I wafer non tollerano escursioni termiche, e neanche il vostro equipaggiamento dovrebbe farlo. Abbiamo realizzato l’involucro riscaldante in acciaio inox per la fab così com’è, dove uniformità di temperatura, pulizia e disponibilità operativa sono requisiti, non desiderata.

Ciò che conta sotto la superficie è semplice.

L’involucro è in acciaio inox, pronto per camere bianche Class 1–100. È progettato per minimizzare l’emissione di gas e resistere alle chimiche corrosive dei processi. I riscaldatori integrati garantiscono un’uniformità stretta a livello wafer, con un target di ±0,1°C sulla superficie di cottura, mantenendo così le temperature per soft bake e hard bake conformi alle specifiche.

Alloggio on Avanzata carbonio riscaldatori a infrarossi

Fabbricazione della carcassa del riscaldatore in acciaio inossidabile