Lampada a infrarossi per la polimerizzazione del fotoresist

Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800

Nel settore della litografia, si sa come funzionano le cose: anche un leggero cambiamento nel profilo di riscaldamento, anche di mezzo grado, può far variare le dimensioni critiche dei componenti elettronici di alcuni nanometri. Si notano subito i problemi legati al processo di trattamento del fotoresistente: formazione di grumi, difetti nella superficie dei wafer… Insomma, si finisce per avere dei wafer non utilizzabili. Abbiamo progettato delle lampade a infrarossi per la cottura del fotoresistente, in modo da mantenere un comportamento termico stabile, anche durante i periodi di pausa tra una fase di produzione e l’altra.

Fotorestante on Avanzata carbonio riscaldatori a infrarossi

Lampada a infrarossi per la polimerizzazione del fotoresist