Riscaldatore per asciugatura wafer Micro LED

Sun, 07 Jun 2026 01:28:04 +0800

Out on the line, un singolo hot spot può compromettere un intero carrier di epiwafer Micro LED. Soft bake e hard bake non sono solo parametri sullo schermo: rappresentano il confine tra un pattern pulito e un lotto da scartare. Per questo abbiamo costruito il riscaldatore per l’essiccazione dei wafer Micro LED per eseguire quel passaggio termico esattamente come richiede la fabbrica: senza escursioni, senza particelle, senza arresti imprevisti.

Cosa conta, tecnicamente
Manteniamo l’uniformità termica a livello wafer entro ±0,1°C sul chuck. Anche una minima deviazione compromette il controllo critico della dimensione e altera il profilo delle pareti laterali. L’infrarosso a onde corte garantisce un riscaldamento rapido e senza contatto che mantiene la superficie pulita. Il corpo riscaldatore è in quarzo e ceramica ad alta purezza, progettato per l’uso in cleanroom Class 1–100, con una produzione di particelle mantenuta al minimo. La ripetibilità della temperatura assicura che la finestra di bake del photoresist venga rispettata—ogni volta, turno dopo turno.

LED on Avanzata carbonio riscaldatori a infrarossi

Riscaldatore per asciugatura wafer Micro LED