Pannello riscaldante in ceramica a infrarossi

Fri, 05 Jun 2026 01:29:30 +0800

Sulla fabbrica

In fase di produzione, il soft bake e il hard bake sono i momenti in cui si stabilisce il budget termico che determina il controllo delle dimensioni critiche. Se la temperatura varia anche solo di 1,5°C sul wafer, la tua finestra di litografia inizia a scomparire. Abbiamo progettato il pannello riscaldante a infrarossi in ceramica per eliminare questa incertezza.

Cosa conta, tecnicamente Si tratta di infrarossi a onda corta, attraversati da una densa matrice ceramica in modo che il calore colpisca esattamente dove ne hai bisogno, rapidamente. Ottieni uniformità a livello di wafer entro ±0,1°C nell’area attiva, e la ripetibilità rimane stretta anche quando i setpoint cambiano. La superficie resiste in cleanroom di Classe 1–100: priva di particelle, senza degassificazione, senza sfaldamenti. La risposta è sufficientemente rapida da seguire ricette dinamiche senza overshoot, quindi il budget termico rimane prevedibile.

Pannello on Avanzata carbonio riscaldatori a infrarossi

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