Componenti riscaldanti per resistenze a UV estremo (EUV)

Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800

In una linea di litografia EUV, la fase di essiccazione del fotorest non è semplicemente un passaggio termico da eseguire meccanicamente. È proprio in questa fase che viene determinato il controllo delle dimensioni delle linee su cui viene stampato il disegno e il livello di difetti presenti nel prodotto finito. Anche piccole variazioni di temperatura, o l’accumulo di particelle nell’ambiente di lavoro, possono compromettere l’uniformità delle dimensioni dei componenti prodotti, rendendo inutilizzabili molti wafer. Abbiamo progettato i componenti per i riscaldatori utilizzati nella litografia EUV proprio per eliminare queste variabilità.

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Componenti riscaldanti per resistenze a UV estremo (EUV)