Sensori di temperatura per strumenti a wafer

Wed, 22 Jul 2026 02:25:51 +0800

Smettete di riscaldare le pareti dello strumento (e iniziate a riscaldare i wafer)
Raggiungere la temperatura ideale per un wafer semiconduttorio richiede grande precisione. Tuttavia, se si utilizzano lampade a infrarossi tradizionali, si combatte una battaglia persa in partenza: tali lampade emettono calore in tutte le direzioni, il che significa che una grande quantità di energia viene sprecata semplicemente per riscaldare le pareti interne dello strumento.

È uno spreco di energia. Peggio ancora: ciò trasforma il telaio dello strumento in un enorme radiatore, che può addirittura causare ustioni agli operatori durante le operazioni di manutenzione. Non è certo ideale.

Socchetto per lampada a infrarossi per strumento a wafer

Sun, 28 Jun 2026 01:37:57 +0800

Sul piano di lavoro, anche un cambiamento di mezzo grado nella temperatura durante la fase di cottura è sufficiente per alterare le dimensioni critiche dei componenti, causando l’insorgenza di impurità dopo il trattamento chimico e riducendo la resa del processo produttivo. Abbiamo progettato il contenitore per le lampade a infrarossi in modo che possa mantenere una temperatura costante nel tempo, ciclo dopo ciclo.

Quello che conta davvero è che il contenitore venga abbinato a lampade a quarzo a infrarossi, in modo che il calore venga distribuito direttamente sul wafer, esattamente come necessario: rapidamente e in modo efficace. Nella zona di cottura, l’uniformità della temperatura rimane entro ±0,1°C; così il fotorestor riceve una temperatura costante, senza punti caldi.

Python on Avanzata carbonio riscaldatori a infrarossi

Sensori di temperatura per strumenti a wafer

Socchetto per lampada a infrarossi per strumento a wafer