なぜ、古いタイプのバスルーム用ヒーターの使用をやめるべきか 正直言って、古いタイプのバスルーム用ヒーターはかなり頑丈ではありません。実際、それらは単なるヒーターであり、保護層が薄いだけです。しかし、バスルームは湿気が多く、蒸気が発生しやすい場所です。湿気と安価なシール材が混ざると、すぐに壊れてしま...

水素センサーを作る際に最も重要なのは、適切な温度管理です。もし温度管理がうまくいかなければ、化学的安定性が失われ、正確性もなくなってしまいます。私たちは、過酷な環境下でも機能し続けるような加熱装置を開発していますが、正直言って、温度制御自体が最も難しい部分ではありません。本当に大変なのは、電気的絶...

なぜウェーハ処理に金コーティングされた反射板を使用するのか？ 正直に言って、半導体製造装置でエネルギーを無駄にするのは、悪い設計です。ヒーターを動かすと、その赤外線エネルギーの多くがただ跳ね返ったり、装置の内部に漏れ出したりしてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。だからこそ、反射面に金コーティ...

オーブンの内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を直接加熱しましょう。 もし半導体製造において従来の対流式オーブンを使ったことがあるなら、その非効率さはご存知でしょう。空気全体を加熱するため、装置の内側全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、実際、近くに...

なぜバスルーム用のヒーターはすぐ壊れてしまうのか？（そして、実際にどう修理するか） 昔ながらの「ランプ式ヒーター」は、バスルームでの使用には向いていません。考えてみてください。場所中に蒸気があり、水しぶきも飛び散っています。これは電子機器にとっては悪夢のような環境です。そのため、私たちはIP65等...

IRシステムがリスクの原因にならないようにしましょう IRランプをアルミニウム製の反射器に取り付けるとき、単に光を当てるだけではありません。実際には、高電圧の電流を大きな導電性金属のすぐ近くに置いていることになります。 絶縁処理に少しでも手抜きがあれば、最悪の事態になります。例えば、全体の加熱機能...

真空チャンバー内の「オーブン効果」を防ぐ方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題の深刻さはよくわかるでしょう。ウエハを加熱する必要がありますが、真空チャンバー全体をオーブンのようにしてしまってはいけません。 通常の加熱方法では、熱があらゆる方向に広がります。真空状態では、そのエネルギ...

化学処理を行う場所で赤外線ヒーターを使用する場合、その危険性はよく知られています。そこには可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気が存在します。このような環境では、単純なワイヤー接続は単なる弱点に過ぎず、むしろ危険な要因となります。わずかな火花や密封不良があれば、瞬時に火災が発生する可能性があります。 これ...

スマートファブの加熱システムを正しく設計するには もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや不十分だと気づいていることでしょう。データシステムと連携できる加熱装置が必要です。 そこで、クリーンルーム内の作業台用には赤外線加熱システムを使用します...

ウェーハを常に清潔に保つために：IR加熱の真実 クラス100のクリーンルームで作業している場合、その苦労はご存知でしょう。わずかなほこりや微細な破片、あるいは部品から漏れ出すガスがあるだけで、全体の製品が台無しになってしまいます。 シリコンウェーハを加熱する際には、普通のランプを使ってはいけません...

混乱を防ぐ：ウェーハ加熱時の粒子汚染対策 高負荷な製造環境では、ランプが破損すると、単なる問題や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。1本の石英管が壊れるだけで、ウェーハの表面がガラスの破片や金属片で覆われてしまいます。これは大惨事です。だからこそ、私たちは超高純度（UHP）ヒーター...

なぜIRヒーターが繰り返し短絡するのか（そして、実際にどうすればいいのか） 天井の高い大きな工場で産業用IRヒーターを使用している場合、その環境がいかに過酷かはご存知でしょう。しかし実際には、最初に故障するのはヒーター素子ではありません。問題は配線部分です。 これを「連鎖の弱点」と考えてみてくださ...

赤外線と熱風：部品が加熱されるのを待つのはやめよう 半導体の高度な加工を行っている人なら、待つという苦しみをよく知っているでしょう。特に、チャンバーが十分に加熱されるのを待つ時間です。 長い間、私たちは単に熱風を送り込んで、最善を願うしかありませんでした。しかし、空気は実際には非常に悪い伝導体です...

なぜIP44等級の赤外線ヒーターがバスルームに適しているのか？ 正直に言うと、昔の電球式のヒーターは使いづらいです。空気を温めようとしますが、湿気の多いバスルームでは、フィラメントが壊れてしまう前にすぐに機能しなくなってしまいます。 だからこそ、私たちはIP44等級の赤外線ヒーターを使うようになっ...

なぜ、無鉛硬化処理においてIR反射器が重要なのか 半導体業界では、無鉛化や省エネルギー化への取り組みが進んでいます。長年にわたり、対流式オーブンが使用されてきましたが、正直言って、大量の空気を加熱するのは莫大なエネルギーの無駄遣いです。 そこで、私たちは赤外線（IR）を利用した硬化処理に移行しまし...