http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 11:39:22 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:39:22 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="CMP後ウェーハ乾燥ヒーター"></p> <p>CMP後の乾燥処理は、ファブ内で生産性を低下させる要因の一つです。水滴や微細なスクラッチ、粒子の再付着といった問題は、根本的には不安定な熱条件や不均一な温度分布が原因です。CMP後のウェーハ乾燥用ヒーターは、単に温かい空気を送り出すだけでは不十分です。再現性の高いウェーハレベルでの<a href="https://o-yate.net">温度制御</a>が<a href="https://o-yate.com">必要</a>であり、各工程が所定の範囲内で行われるようにしなければなりません。</p>