http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%AB%E3%82%B9%E3%82%BF%E3%83%A0/ Recent content in カスタム on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 02:31:33 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 21 Jun 2026 02:31:33 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェーハ用カスタム赤外線ヒーター"></p> <p>ファブの<a href="https://o-yate.com">現場</a>では、ソフトベイク時の温度が1℃だけ変動しても、ワーク<a href="https://o-yate.net">全体</a>が台無しになってしまうことがあります。このリスクを回避するために、当社では専用の赤外線ヒーターを開発しました。これにより、ウェーハの乾燥やフォトレジストのベイキング、パッケージの硬化処理、クリーニング後の乾燥といった工程において、再現性の高い温度制御が可能になります。</p> <p><strong>重要なのは何か？</strong> 核心的な要素は、カスタマイズされたスペクトル特性を持つ近赤外線です。これにより、対象物を直接加熱でき、浴槽を使わず、汚染も起こりません。ウェーハ表面の温度均一性は±0.1℃以内で保たれ、ショットごとの再現性も±0.5℃以内です。応答時間は2秒未満なので、精密な制御が可能です。クリーンルームクラス1～100を実現するためには、石英やセラミック製の部品を使用し、ガス放出がない材料を採用し、粒子の<a href="https://goldisgood.com">発生</a>を抑える設計が必要です。これらの装置は24時間365日運用できるように設計されており、MTBFは数万時間に及びます。また、予期しない停止時間を短縮するために、モジュールの交換も容易に行えます。</p>