http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%83%86%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in コーティング on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:36:32 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/conformal-coating-for-wafer-ir/ Sat, 27 Jun 2026 01:36:32 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/conformal-coating-for-wafer-ir/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハ用IRコンフォーマルコーティング"></p> <p>製造現場では、300mmのウェーハには何千ものチップが搭載されており、それぞれのチップは熱歪みに敏感です。リソグラフィ装置内では、ソフトベイクとハードベイクの工程によって寸法精度が決まります。もしIR光源の均一性が保てなければ、線幅の制御も乱れ、結果として歩留まりが低下します。これは<a href="https://o-yate.net">明確</a>に測定可能です。</p>