http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in スパッタリング on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 17:55:44 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:44 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="半導体スパッタリングヒーター"></p> <p>ファブフロアにおいて、スパッタリングチャンバーの熱プロファイルは一度設定して終わりというものではありません。これはリアルタイムで膜厚分布、応力、歩留まりに影響を与えます。0.5℃の変動が堆積速度を変化させ、デバイスの仕様外れを引き起こすことがあります。<br> この現実を踏まえて、当社の半導体スパッタリングヒーターは設計されています。プロセスは推測を許さず、当社も同様です。</p>