http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%91%E3%83%8D%E3%83%AB/ Recent content in パネル on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Fri, 05 Jun 2026 01:29:30 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ Fri, 05 Jun 2026 01:29:30 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="セラミック赤外線ヒーターパネル"></p> <p>ファブフロアでは、ソフトベイクとハードベイクが、クリティカルディメンション制御を左右するサーマルバジェットを設定する場所です。ウエハ上で<a href="https://o-yate.com">温度</a>が1.5°Cでもずれると、リソグラフィウィンドウが消え始めます。この不確実性を排除するために、セラミック赤外線ヒーターパネルを設計しました。</p> <p><strong>技術的に重要なこと</strong> これは<a href="https://o-yate.net">短波赤外線</a>であり、密なセラミックマトリックスを通して熱が必要な場所に素早く正確に到達します。アクティブエリア全体でウエハレベルの均一性を±0.1°C以内で得ることができ、設定値が変わっても再現性は高いままです。表面はクラス1〜100のクリーンルームに対応し、粒子がなく、ガス放出や剥がれもありません。応答は動的レシピに追従できるほど迅速で、オーバーシュートがないため、サーマルバジェットが予測可能な状態を保ちます。</p>