http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 03:27:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Thu, 02 Jul 2026 03:27:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、焼成温度が半度でも変動すると、フォトレジストの特性が崩れてしまいます。線幅の制御や密着性、欠陥密度といったものは、正確な温度管理にかかっています。私たちは、そのような温度管理を実現するために、専用の赤外線ランプを開発しました。</p> http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="フォトレジスト硬化用赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程では、ご存知の通り、わずか半度の精度の違いでも、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。すぐに問題が現れます——スカーミングやブリッジングなどが発生し、最終的には<a href="https://goldisgood.com">廃棄</a>されるウェーハになってしまいます。そうならないように、私たちはフォトレ지ストを硬化させるための赤外線ランプを自社で開発しました。これにより、シフトごとにも、PMウィンドウの間でも、熱的な特性が安定して保たれます。</p> http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="感光材剥離用加熱器"></p> <h1 id="ウェーハフロアの現場はご存知でしょうサポートヒーターが設定温度から08cずれたためにストリップチャンバーが停止フォトレジスト残留物が付着し再作業が積み上がり歩留まりが低下します">ウェーハフロアの<a href="https://o-yate.net">現場</a>はご存知でしょう：サポートヒーターが設定温度から0.8°Cずれたためにストリップチャンバーが停止。フォトレジスト残留物が付着し、再作業が積み上がり、歩留まりが低下します。</h1> <h2 id="背面で重要なポイント">背面で重要なポイント</h2> <p>フォトレジストストリッピング用のサポートヒーターは、一つの<a href="https://henruite.com">目的</a>で設計されています—繰り返し可能な温度制御。チャック全体で±0.1°Cのウェーハレベル均一性を維持するため、熱予算が厳密に管理され、ロット間でストリッププロファイルのばらつきが起きません。</p> <p>素子は石英アセンブリ内の短波長ハロゲンを使用しています。これにより応答速度が速く、放射率が安定しているため、ベークからストリップへの切り替え時のオーバーシュートが抑えられます。</p>