http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%9E%E3%82%B9%E3%82%AF/ Recent content in マスク on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 03:25:18 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/solder-mask-drying-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 03:25:18 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/solder-mask-drying-for-wafer/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ用のはんだマスク乾燥"></p> <p>ファブの現場では、はんだマスクの乾燥というのは独立した工程ではありません。それは、リソグラフィー後にパターンの<a href="https://goldisgood.com">形状</a>を維持するための重要なプロセスなのです。もし加熱条件が不安定になると、パターンの境界がぼやけてしまい、再加工が必要になります。私たちは、ウエハ全体にわたって、プロセスカードで指定された通りの正確な温度制御を実現するためにこのシステムを開発しました。</p> <p>重要なのは、実際の生産環境下でも安定した制御ができることです。当社のモジュールは、NIR技術を活用したエミッターを使用して、±0.1℃の精度でウエハ全体の温度を制御します。また、チャンバーはクラス1からクラス100までのクリーンルーム環境に対応しており、<a href="https://henruite.com">層流動作</a>を実現し、加熱時に粒子が発生しないようになっています。</p>