http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E5%89%A5%E3%81%8E%E5%8F%96%E3%82%8A/ Recent content in 剥ぎ取り on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="感光材剥離用加熱器"></p> <h1 id="ウェーハフロアの現場はご存知でしょうサポートヒーターが設定温度から08cずれたためにストリップチャンバーが停止フォトレジスト残留物が付着し再作業が積み上がり歩留まりが低下します">ウェーハフロアの<a href="https://o-yate.net">現場</a>はご存知でしょう：サポートヒーターが設定温度から0.8°Cずれたためにストリップチャンバーが停止。フォトレジスト残留物が付着し、再作業が積み上がり、歩留まりが低下します。</h1> <h2 id="背面で重要なポイント">背面で重要なポイント</h2> <p>フォトレジストストリッピング用のサポートヒーターは、一つの<a href="https://henruite.com">目的</a>で設計されています—繰り返し可能な温度制御。チャック全体で±0.1°Cのウェーハレベル均一性を維持するため、熱予算が厳密に管理され、ロット間でストリッププロファイルのばらつきが起きません。</p> <p>素子は石英アセンブリ内の短波長ハロゲンを使用しています。これにより応答速度が速く、放射率が安定しているため、ベークからストリップへの切り替え時のオーバーシュートが抑えられます。</p>