http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E5%AE%89%E5%85%A8/ Recent content in 安全 on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-through-infrared-lamp-safety-distance-and-design/ Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-through-infrared-lamp-safety-distance-and-design/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ウェーハ加熱用の安全距離"></p> <p>IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。<br> 大量<a href="https://o-yate.net">生産</a>の半導体製造ラインでは、IRランプが故障すると、単なる手間や生産停止に留まらず、大きな問題となります。<br> 石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。1つのランプが故障するだけで、数秒で一括されたウェーハがダメになってしまいます。私たちは、このような事態を防ぐ方法を長年研究してきました。主に、ランプの形状や配置に注目しています。</p>