揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーティングを使用する際の安全対策 半導体工場を運営している方なら、この問題はよくわかるでしょう。赤外線ランプが、率直に言って熱を嫌う化学洗浄剤のすぐそばで動作しています。そのような場所でランプをそのまま使うのは、問題を招くだけです。 これを解決するために、ランプを特殊...

製造現場において、フォトレジストの焼成工程は省略できないものです。ソフトベイクやハードベイク時の温度の変動が0.5℃でも、ウェーハの寸法精度に影響を与えてしまいます。また、ランプが故障すると、生産ラインが停止してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、24時間365日、停止することな...