http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E8%A2%96/ Recent content in 袖 on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:09:15 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:09:15 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ファブIRランプ用クォーツスリーブ"></p> <p>製造現場において、フォトレジストの焼成工程は省略できないものです。ソフトベイクやハードベイク時の温度の変動が0.5℃でも、ウェーハの<a href="https://o-yate.com">寸法精度</a>に影響を与えてしまいます。また、ランプが<a href="https://o-yate.net">故障</a>すると、生産ラインが停止してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、24時間365日、停止することなく稼働できる石英製のスリーブを開発しました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、短波・中波の赤外線を効率よく透過させる高純度の石英を使用しています。これにより、ランプからの光がフォトレジストに効果的に伝わります。スリーブの形状は、ウェーハ全体の均一性を保つように設計されており、ベイキングプレート上の温度を厳格に管理します。クリーンルームとの相性も考慮されており、材料や表面処理によって、繰り返しの熱サイクル後でも粒子の発生を抑えます。その<a href="https://goldisgood.com">結果</a>、毎回同じような焼成プロファイルが得られます。</p>