http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/%E9%83%A8%E5%B1%8B-%E5%AE%A4/ Recent content in 部屋-室 on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Fri, 17 Jul 2026 01:53:20 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Fri, 17 Jul 2026 01:53:20 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <h1 id="真空チャンバー内のオーブン効果を防ぐ方法">真空チャンバー内の「オーブン効果」を防ぐ方法</h1> <p>半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題の深刻さはよくわかるでしょう。ウエハを加熱する<a href="https://o-yate.net">必要</a>がありますが、真空チャンバー全体をオーブンのようにしてしまってはいけません。</p> <p>通常の加熱方法では、熱があらゆる方向に広がります。真空状態では、そのエネルギーはチャンバーの壁に向かってしか行き場がありません。これは大変な問題です。装置の表面が危険なほど高温になり、シール部品も熱ストレスによって損傷してしまいます。これは単なる無駄なエネルギー消費です。</p>