なぜ、私たちはお客様の工場で使用されるすべてのランプを検査するのか 半導体工場では、わずかな電気的放電だけで、大量のウェーハがダメになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。そのため、こちらでは「バッチサンプリング」は行いません。適当にいくつかのランプを検査して、うまくいくことを期待するので...

クリーンルーム内のカートを安全に保つために（そして、チームの安全も確保するために） 正直言って、半導体製造工場は非常に過酷な環境です。可燃性の溶剤や不安定な化学物質を扱う以上、火花が発生することは絶対に避けたいものです。 もし、輸送用カートにIRヒーターを使用しているなら、そのリスクはよく理解して...

オーブンの内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を直接加熱しましょう。 もし半導体製造において従来の対流式オーブンを使ったことがあるなら、その非効率さはご存知でしょう。空気全体を加熱するため、装置の内側全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、実際、近くに...

スマートファブの加熱システムを正しく設計するには もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや不十分だと気づいていることでしょう。データシステムと連携できる加熱装置が必要です。 そこで、クリーンルーム内の作業台用には赤外線加熱システムを使用します...

赤外線と熱風：部品が加熱されるのを待つのはやめよう 半導体の高度な加工を行っている人なら、待つという苦しみをよく知っているでしょう。特に、チャンバーが十分に加熱されるのを待つ時間です。 長い間、私たちは単に熱風を送り込んで、最善を願うしかありませんでした。しかし、空気は実際には非常に悪い伝導体です...

Introduction この小型ヒーターは、狭いスペースで強力な熱が必要な場面を想定して製作しました。400V、2500Wのハロゲン短波ランプを搭載し、必要な場所に必要なタイミングで集中的に熱を供給するコンパクトな装置です。加熱速度は速いです。 The Inside Story 400V仕様のポ...

このハロゲンヒーターは、寸法の制約が厳しい工業用スペース向けに設計しました。わずかなスペースも無駄にできないけれど、強力かつ即効性のある熱が必要な場所に最適です。リビングルームに置くようなものではありません。これは本格的な作業用機器で、必要な場所に集中的で強烈な熱を届けるために作られています。 パ...