http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/euv/ Recent content in EUV on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="極端紫外線用レジストヒーター部品"></p> <p>EUVリソグラフィーの工程において、レジストのベイク処理は単なる加熱工程に過ぎません。実際には、線幅の制御や不良率の管理が行われる重要な工程です。わずか数十分の1度の<a href="https://henruite.com">温度</a>変動や、ごくわずかな粒子の存在だけで、CDの均一性が基準外になり、多くのウエハが廃棄されてしまいます。私たちは、このような変動を排除するために、特別なEUV用レジストヒーターを開発しました。</p>