http://carbon-ir-heater.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on 先進 カーボン 赤外線ヒーター Hugo ja Wed, 22 Jul 2026 02:25:50 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 22 Jul 2026 02:25:50 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>工具の内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。<br> 半導体ウェーハを適切な温度に保つのは、非常に<a href="https://o-yate.com">精密</a>な作業です。しかし、通常の赤外線ランプを<a href="https://o-yate.net">使用</a>している場合、実際には無駄な労力がかかっています。そのようなランプはあらゆる方向に熱を放出するため、エネルギーの大部分が工具の内壁を温めるだけに消費されてしまいます。これはエネルギーの無駄遣いです。さらに悪いことに、装置のケースが巨大なラジエーターのようになり、メンテナンス時に作業員が火傷する危険性もあります。理想的ではありません。</p> <p>解決策はごく簡単です。<a href="https://henruite.com">無指向性</a>に熱を放出するのをやめ、特定の方向に熱を集中させるのです。私たちは指向性のある赤外線加熱を利用してこの問題を解決しています。</p> <p><strong>実際の動作原理</strong><br> 通常の石英ランプを考えてみてください。それは360度全方位に熱を放出する電球のようなものです。ウェーハ処理用の装置では、そのエネルギーの半分が金属製の壁に当たるだけです。</p> http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ Sun, 28 Jun 2026 01:37:56 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ja/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェーハツール用赤外線ランプソケット"></p> <p>ウェーハを扱う際には、ソフトベイクやハードベイクの際にわずか半度の誤差があっても、重要な寸法が変わってしまったり、エッチング後にスケールが残ったり、歩留まりが低下したりすることがあります。私たちが開発した赤外線ランプソケットは、サイクルごとに一定の温度管理を実現し、ウェーハの熱挙動を制御します。</p>