http://carbon-ir-heater.com/ko/tags/%EC%8A%A4%ED%8D%BC%ED%84%B0%EB%A7%81/ Recent content in 스퍼터링 on 첨단 탄소 적외선 히터 Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 17:55:44 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:44 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="반도체 스퍼터링 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>현장에서는 스퍼터링 챔버의 열 프로파일이 설정 후 잊어버리는 대상이 아니다. 이는 필름 두께 분포, 응력, 수율을 실시간으로 좌우한다. 0.5도 미만의 온도 변화만으로도 증착 속도가 변해 장치가 사양에서 벗어날 수 있다.<br> 우리는 이러한 현실을 감안하여 반도체 스퍼터링 히터를 설계했다. 공정에는 추측이 허용되지 않으며, 우리도 그렇다.</p>