http://carbon-ir-heater.com/ko/tags/%EC%A0%80%ED%95%AD%ED%95%98%EB%8B%A4/ Recent content in 저항하다 on 첨단 탄소 적외선 히터 Hugo ko Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들"></p> <p>EUV 리소그래피 공정에서, 리지스트를 가열하는 과정은 단순히 열처리 단계에 불과한 것이 아닙니다. 이 과정에서 선폭 제어와 결함 발생 가능성도 결정됩니다. 몇 십 분의 일 도의 온도 변동이나 미세한 입자의 존재만으로도 CD의 균일성이 깨질 수 있으며, 그 결과 많은 웨이퍼들이 폐기되게 됩니다. 저희는 이러한 변수들을 최소화하기 위해 특별한 EUV 리지스트 가열 장치를 개발했습니다.</p>