http://carbon-ir-heater.com/ms/tags/fotoresis/ Recent content in Fotoresis on Termaju karbon pemanas inframerah Hugo ms Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ms/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/ms/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Pemanas sokongan penanggalan fotoresis"></p> <p>Anda tahu situasi di lantai wafer: ruang strip berhenti kerana pemanas sokongan terpesong 0.8°C dari setpoint. Sisa photoresist melekat. Kerja semula bertimbun. Hasil terjejas.</p> <h2 id="apa-yang-penting-di-bawah-permukaan">Apa yang penting di bawah permukaan</h2> <p>Kami membina pemanas sokongan pengelupasan photoresist berasaskan satu perkara—kawalan suhu yang berulang dan konsisten. Keseragaman di peringkat wafer dikekalkan ±0.1°C di seluruh chuck, supaya bajet terma anda kekal ketat dan profil pengelupasan tidak berubah antara lot.</p> <p>Elemen menggunakan halogen gelombang pendek dalam susunan kuarza. Ini memberikan tindak balas pantas dan emissiviti stabil, jadi lebihan suhu rendah semasa peralihan antara fasa bakar dan luntur.</p>