Op de lijn kan één heet punt een hele lading Micro LED epiwafers vernietigen. Soft bake en hard bake zijn niet alleen parameters op een scherm—ze zijn de grens tussen een schoon patroon en een afvalpartij. Daarom hebben we de Micro LED wafer droogverwarming gebouwd om die thermische stap uit te voeren zoals de fabriek dat vereist: geen afwijkingen, geen deeltjes, geen onverwachte stops.
Wat technisch van belang is
We handhaven de thermische uniformiteit op wafer-niveau tot ±0,1°C over de chuck. Zelfs een kleine afwijking kan de controle van kritische afmetingen beïnvloeden en de zijwandprofielen verstoren. Kortgolvige infraroodstraling biedt snelle, contactloze verwarming die het oppervlak schoon houdt. Het verwarmingselement is gemaakt van kwarts en hoogzuiver keramiek, gebouwd voor gebruik in cleanrooms van Klasse 1–100, met een minimale deeltjesgeneratie. De temperatuurherhaalbaarheid is aanwezig zodat het photoresist bakvenster elke keer sluit—shift na shift.
Dit houdt stand in Micro LED werk: het thermische budget is krap. Je moet oplosmiddelen verwijderen, de randbead controleren en de polymeer stabiliseren zonder overshoot die de metallisatie kan beschadigen of emissieve lagen kan verschuiven. De verwarming vergrendelt de bakcurve zodat de lithografie consistent blijft over verschillende partijen.
Dat vertaalt zich naar minder herwerkingen, minder afval en een cyclusduur waar je op kunt rekenen. Het energieverbruik blijft ook gedisciplineerd—efficiënte stralingsoverdracht en gerichte verblijftijd verminderen afvalwarmte die het thermisch beheer van de kamer problematisch maakt.
Een paar praktische notities
Installatie komt neer op cleanroom luchtstroom en solide EMI-aarding. Je krijgt de beste prestaties wanneer afvoer en afscherming zijn afgestemd op het platform. De ingebruikname is snel, maar je wilt de receptuur nog steeds afstemmen op jouw exacte photoresiststapel en substraatopbouw.
Plan op routinematige kalibratie. Die ±0,1°C uniformiteit is alleen betekenisvol als je het zo houdt tijdens lange productiecycli.