http://carbon-ir-heater.com/nl/tags/euv/ Recent content in EUV on Geavanceerde koolstof infraroodverwarmers Hugo nl Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/nl/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/nl/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Extreem UV (EUV) resistverwarmeronderdelen"></p> <p>Bij de EUV-lithografie wordt het verhitten van de fotorezist niet alleen gezien als een thermische stap die moet <a href="https://o-yate.com">worden</a> uitgevoerd. Het is juist hier dat de controle over de dikte van de lijnen en het aantal defecten wordt bepaald. Een verschil van een paar tienden van een graad of zelfs een kleine hoeveelheid deeltjes kan ertoe leiden dat de uniformiteit van de afmetingen van de wafer niet voldoet aan de vereisten. Hierdoor kunnen veel wafer’s worden verspild. We hebben onze verhittingselementen zo ontworpen dat deze variabiliteit wordt weggenomen.</p>