Infraroodlamp voor het harden van fotorester

Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800

Op de lithografieafdeling weet je hoe het werkt: zelfs een kleine afwijking van een halve graad in het warmtestroomprofiel kan er toe leiden dat de cruciale dimensies enkele nanometers veranderen. Dat zie je meteen: er ontstaan oneffenheden op het oppervlak van de wafer, waardoor je uiteindelijk alleen maar afvalwafer overhoudt. We hebben infraroodlampen ontwikkeld die het thermische gedrag van de fotoresist stabiliseren, zodat deze consistent blijft, ongeacht de omstandigheden.

Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken infraroodemitters met een snel reagerend kwartsomhulsel. De warmte dringt recht door naar de laag fotoresist, zonder dat de draaglaag wordt verhit. Hierdoor blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, en de warmtestroomcurve blijft stabiel. Het systeem blijft schoon – er worden geen deeltjes geproduceerd, wat ideaal is voor cleanrooms van klasse 1–100. Bovendien past het systeem zich aan aan de standaard SEMI-interfaces. De prestaties blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een intensiteitsdaling van minder dan 5%.

Fotoreceptor on Geavanceerde koolstof infraroodverwarmers

Infraroodlamp voor het harden van fotorester