Na área de produção, uma variação de 1°C durante o processo de secagem pode comprometer todo um lote de wafers. Por isso, desenvolvemos aquecedores infravermelhos personalizados para eliminar esse risco. Eles permitem um controle térmico preciso em cada waffer, durante os processos de secagem, cura do fotoresista e secagem pós-limpeza.
O que é importante por trás disso tudo
Os aquecedores utilizam radiação infravermelha de comprimento de onda específico, aquecendo diretamente o objetivo desejado – sem necessidade de banhos quentes ou risco de contaminação. A uniformidade da temperatura na superfície do waffer fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes ciclos de aquecimento fica entre ±0,5°C. A resposta dos aquecedores é inferior a dois segundos, o que permite um controle preciso da temperatura. É possível alcançar níveis de pureza de Classe 1–100 em ambientes limpos, graças ao uso de materiais de quartzo/cerâmica, materiais que não emitem gases e um design que reduz a presença de partículas no ar. Esses equipamentos são projetados para funcionar 24/7, com vida útil de dezenas de milhares de horas, além de módulos substituíveis para minimizar tempos de inatividade.
Na litografia, o processo de secagem é fundamental para controlar as dimensões críticas dos componentes. Nossos aquecedores mantêm o controle térmico adequado do fotoresista, reduzindo as variações na largura das linhas e aumentando a produtividade. Para a secagem dos wafers e pós-limpeza, o aquecimento rápido e uniforme evita marcas e imperfeições na superfície, sem necessidade de contato direto.
Na fase de embalagem, a mesma plataforma garante perfis de cura consistentes para os materiais utilizados, reduzindo o tempo de ciclo, mantendo ao mesmo tempo a adesão e a confiabilidade dos produtos. Além disso, o consumo de energia diminui, pois o calor é direcionado diretamente para o processo, sem desperdício.
Em resumo: esses aquecedores são desenvolvidos especificamente para suas necessidades. A geometria da câmara, o tipo de fixação e a localização dos sensores são fatores importantes. A configuração dos aquecedores é rápida, e é necessário utilizar ar limpo e seco para manter os parâmetros estáveis. É essencial ajustar a emissividade e refletividade dos aquecedores de acordo com as características do substrato utilizado; fornecemos dados para isso.