Painel de aquecedor infravermelho cerâmico

Fri, 05 Jun 2026 01:29:30 +0800

No chão da fábrica, o “soft bake” e o “hard bake” são onde você define o orçamento térmico que determina o controle de dimensões críticas. Mova a temperatura até mesmo 1,5°C através do wafer, e sua janela de litografia começa a desaparecer. Construímos o painel de aquecedor infravermelho cerâmico para eliminar essa incerteza.

O que importa, tecnicamente
É infravermelho de onda curta, passado por uma matriz cerâmica densa para que o calor atinja exatamente onde você precisa, rapidamente. Você obtém uniformidade a nível de wafer dentro de ±0,1°C em toda a área ativa, e a repetibilidade permanece consistente mesmo quando os pontos de ajuste mudam. A superfície suporta em salas limpas Classe 1–100—livre de partículas, sem desprendimento de gases, sem descamação. A resposta é rápida o suficiente para seguir receitas dinâmicas sem superação, mantendo o orçamento térmico previsível.

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