Peças do aquecedor de resistência de UV extremo (EUV)

Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800

Em uma linha de litografia EUV, o processo de secagem do fotoreativo não é apenas um passo térmico que precisa ser realizado. É nesse momento que se decide o controle da espessura das linhas e o número de defeitos permitidos. Uma pequena variação de alguns décimos de grau – ou até mesmo a presença de partículas insignificantes – pode fazer com que a uniformidade do CD fique fora dos padrões, transformando muitos wafers em material inviável para uso. Nós desenvolvemos componentes para os aquecedores de fotoreativos EUV, com o objetivo de eliminar essa variabilidade.

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Peças do aquecedor de resistência de UV extremo (EUV)