На производстве с использованием технологии EUV процедура просушки фотополимера – это не просто термическая операция, которую нужно выполнить. Именно на этом этапе определяются параметры ширины линий на пластине и уровень дефектов в её структуре. Небольшие отклонения в температуре – всего несколько десятых градуса – или наличие частиц может привести к нарушению однородности параметров пластины, что делает большое количество пластин негодными для использования. Мы разработали специальные нагреватели для фотополимеров, чтобы устранить такие отклонения.
Важно помнить, что система использует инфракрасные излучатели коротких и средних длин волн, соответствующие спектру поглощения фотополимера. Благодаря этому профиль температуры остается стабильным на всей поверхности пластины. Однородность температуры составляет ±0,1°C в активной зоне, что обеспечивает повторяемость результатов при производстве разных партий продукции. Компоненты системы изготовлены из кварца и галогенов; при работе в чистых комнатах класса 1–100 не происходит выделения частиц. Система обеспечивает стабильную работу круглосуточно, без неplановых простоев, связанных с неисправностями нагревателей.
На производстве с использованием технологии EUV процедуры просушки фотополимера включают мягкую и жесткую просушку, а также процедуру термического закрепления фотополимера на поверхности пластины. Именно уровень термической однородности на уровне пластины влияет на качество продукции. Точный контроль температуры сокращает время подготовки оборудования к работе, снижает количество бракованных изделий и экономит энергию. В результате достигается стабильное качество продукции и возможность контроля над процессом производства.
Есть еще несколько практических замечаний. Нагреватели подходят для использования на основных платформах, используемых в технологии EUV. Однако при их установке необходимо учитывать геометрию камеры и распределение потока воздуха, чтобы профиль температуры оставался стабильным. При замене излучателей необходимо учитывать возможные отклонения в температуре, а также соблюдать график замены компонентов в зависимости от времени работы и температурных условий. Необходимо рассматривать температурный режим как контролируемую переменную, а не как параметр, который можно управлять только в рамках допустимых значениях.