Подогреватель для снятия фоторезиста

Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800

Вы знаете ситуацию на поду для обработки пластин: камера для снятия фоторезиста простаивает, потому что нагреватель поддержки отклонился от заданной температуры на 0,8°C. Остатки фоторезиста остаются на пластинах. Переработка накапливается. Выход продукции снижается.

Что имеет значение под капотом

Нагреватель поддержки для снятия фоторезиста разработан с одной целью — стабильное и точное управление температурой. Однородность температуры на уровне пластины удерживается в пределах ±0,1°C по всей поверхности вращающегося держателя (chuck), что позволяет строго контролировать тепловой баланс и исключать колебания профиля снятия между партиями. Элемент использует коротковолновую галогенную лампу в кварцевом корпусе. Это обеспечивает быструю реакцию и стабильную излучательную способность, благодаря чему переходы между этапами запекания и снятия проходят без значительного превышения температуры. Совместимость с чистыми помещениями — это не просто рекламный слоган. Конструкция соответствует требованиям класса чистоты 1–100 без внесения частиц, а герметичная геометрия предотвращает дегазацию, которая может оседать на оптике и загрязнять пластину. Надёжность проявляется там, где это важно — время безотказной работы. Устройства работают круглосуточно без неплановых простоев, а выходная характеристика остаётся стабильной более 5 000 часов.

Снятие-Одежды on передовые углерод инфракрасные обогреватели

Подогреватель для снятия фоторезиста

Что имеет значение под капотом