การทำให้แผ่นฟิล์มป้องกันการเชื่อมแห้งสนิทสำหรับวีเดียร์

Fri, 03 Jul 2026 03:25:18 +0800

ในโรงงานผลิตชิป ขั้นตอนการทำให้แผ่นฟิล์มป้องกันการเชื่อมแห้งนั้นไม่ใช่ขั้นตอนที่แยกออกมาต่างหาก แต่เป็นขั้นตอนสำคัญที่ช่วยรักษาความสมบูรณ์ของรูปร่างของชิปหลังจากกระบวนการลิโธกราฟี หากมีความผิดพลาดในการควบคุมอุณหภูมิ ก็จะส่งผลให้รูปร่างของชิปเปลี่ยนไป และทำให้ต้องมีการแก้ไขชิปซ้ำอีก ดังนั้นเราจึงสร้างระบบนี้ขึ้นมาเพื่อควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่กำหนดไว้ในขั้นตอนการผลิต โดยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำทั่วทั้งแผ่นชิป

สิ่งสำคัญคือการควบคุมอุณหภูมิให้มีความแม่นยำ โดยระบบของเราสามารถควบคุมอุณหภูมิได้ในช่วง ±0.1°C ซึ่งเพียงพอสำหรับการผลิตชิปจำนวนมาก โดยใช้เครื่องปล่อยพลังงานแบบ NIR ซึ่งช่วยให้สามารถส่งพลังงานได้อย่างรวดเร็วและไม่มีการสัมผัสกับชิปโดยตรง นอกจากนี้ ห้องที่ใช้ในการผลิตยังเหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1 ถึง Class 100 โดยมีระบบไหลเวียนอากาศที่ดี และไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ขึ้นมาในระหว่างการผลิต

ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิสามารถวัดได้ โดยมีความคลาดเคลื่อนไม่เกิน 0.2°C สำหรับการผลิตชิปจำนวน 1,000 แผ่น นอกจากนี้ ยังมีระบบที่ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างเหมาะสมสำหรับการผลิตชิปในรูปแบบต่างๆ ดังนั้นจึงสามารถควบคุมขนาดของชิปได้อย่างแม่นยำตลอดกระบวนการผลิต

เหตุผลที่ระบบนี้สามารถใช้งานได้จริงในโรงงานผลิตชิปก็คือ ระบบนี้ช่วยให้การผลิตดำเนินไปได้อย่างต่อเนื่อง โดยมีเวลาหยุดทำงานน้อยที่สุด อายุการใช้งานของเครื่องปล่อยพลังงานนั้นสามารถใช้งานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง และระบบควบคุมอุณหภูมิก็สามารถตรวจสอบความถูกต้องได้ในทุกครั้งที่เริ่มการผลิต นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็น้อยกว่าเตาอบแบบธรรมดา และเวลาในการผลิตก็สามารถลดลงได้โดยไม่ส่งผลต่อประสิทธิภาพในการผลิต

มีข้อควรระวังเล็กน้อย นั่นคือ ระบบนี้ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่มีแรงดัน 208–240 V และต้องมีระบบระบายก๊าซที่มีประสิทธิภาพ การติดตั้งระบบนี้สามารถทำได้ง่ายบนแพลตฟอร์มการผลิตส่วนใหญ่ แต่หากต้องการติดตั้งระบบนี้ในเตาอบแบบเก่า ก็จำเป็นต้องมีการออกแบบใหม่ ดังนั้นควรวางแผนเรื่องสาธารณูปโภคก่อน เพื่อให้การผลิตดำเนินไปได้อย่างราบรื่น

แวเฟอร์ on ขั้นสูง คาร์บอน เครื่องทำความร้อนอินฟราเรด

การทำให้แผ่นฟิล์มป้องกันการเชื่อมแห้งสนิทสำหรับวีเดียร์