IR lambalarının waferlerinizi mahvetmesini engelleyin
Yüksek kapasiteli yarı iletken üretim tesislerinde, arızalanan bir IR lambası sadece bir sorun veya üretimin durmasına neden olmaz; bu bir kabus gibidir. Kuvars tüpü patladığında, cam parçaları ve halojen gazları doğrudan waferlerin üzerine düşer. Bir tane bozuk lamba, birkaç saniye içinde tüm ürünleri mahvedebilir. Bunu nasıl önleyebileceğimizi bulmak için çok zaman harcadık; bunun için lambaların şekli ve yerleştirildiği konulara odaklandık.
“Altın Aralık”
Lambayı doğrudan waferin üzerine yerleştiremezsiniz. Biraz boşluk bırakmanız gerekir. Genellikle, kullanılan güç miktarına ve ulaşılan sıcaklığa göre belirli bir güvenlik mesafesi öneririz. Neden mi? Çünkü ısındıklarında parçalar hareket eder. Eğer tüp aşırı ısı altında bükülürse, bu aralık sayesinde tüp substratla temas etmez. Elbette, daha fazla ısı elde etmek için bu aralığı daraltabilirsiniz, ancak bu tehlikeli bir davranıştır. Küçük bir bükülme bile fiziksel hasara yol açabilir. Montaj braketlerinin sağlam olduğundan emin olun ki bu aralık sabit kalabilsin.
Temizliği Koruma
Gaz salınımını en aza indirmek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Ayrıca, lamba ile wafer arasına bir koruyucu kuvars kalkanı koymak da mantıklıdır. Bunu bir koruma mekanizması olarak düşünün. Eğer lamba arızalanırsa, kalkan parçaları yakalar ve böylece waferiniz zarar görmez. Elektrotlardaki contaları da güçlendirmeye çalışıyoruz ki halojen gazlarının sızmasını önleyelim. Eğer 7/24 çalışıyorsanız, konektörlerinizin sağlam olduğundan emin olun. Zayıf bağlantılar ark oluşmasına neden olur ve bu da lambaların çok daha hızlı bozulmasına yol açar.
Güç vs. Huzur
Yüksek güçlü lambalar, hızlı üretim için mükemmeldir. Ancak daha fazla güç, daha fazla iç basınç anlamına gelir. Bu bir denge meselesidir. Isı yoğunluğunu, odanın ne kadar iyi soğutabildiğiyle karşılaştırmalısınız. Eğer soğutma sistemi lambanın uçlarından ısıyı uzaklaştıramazsa, kuvars stres altında kalır ve sonunda çatlar. Bazı güç-aralık tabloları hazırladık. Bunlar oldukça basit ve ihtiyacınız olan ısıyı elde ederken arızalar konusunda endişelenmenizi engeller.