İyileştirme on Gelişmiş karbon kızılötesi ısıtıcılar

Sertifikalı kızılötesi kurutma lambası üreticisi

Thu, 23 Jul 2026 09:46:19 +0800

Yanmış lambaların verimliliğinizi mahvetmesine izin vermeyin

Yüksek yük altındaki üretim tesislerinde lambaların yanması sadece bir rahatsızlık olmakla kalmaz; bu bir kâbustur. Silikon waferların üzerindeki kuvars tüplerinin patladığını hayal edin. Her yerde cam parçaları ve kimyasal maddeler bulunur. Bu durum hemen ikincil kirlenmelere yol açar. Bu durum sadece işleri yavaşlatmakla kalmaz, aynı zamanda verimliliği de yok eder.
Biz de bunu engellemek için özel olarak inframerah kurutma lambaları geliştirdik.

Isı ve “patlama” sorunlarıyla başa çıkma

Çoğu lamba, aşırı ısı veya termal şok nedeniyle bozulur. Aslında bu durum, camın stres altında kalmasından kaynaklanır. Bunu çözmek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Sıcaklık değişikliklerinde cam çok fazla genişlemez veya büzülmez; böylece tüp hızlı dalgalanmalara dayanabilir ve çatlamaz.
Ancak asıl sır filamentlerdedir. Filamentleri hassas bir şekilde yerleştiriyoruz. Böylece ısı tüpün her yerine eşit olarak dağılır ve tek bir noktada yoğunlaşmaz. Duvarlardaki stres azaldığı için “patlama” ihtimali de düşer.

Wafer kurutma lambası için yansıtıcı

Mon, 13 Jul 2026 17:13:13 +0800

Neden FIR yansıtıcılarının kurşunsuz işlemler için önemli olduğu
Yarı iletken sektörü, kurşunsuz ve enerji tasarruflu standartlara doğru hızla ilerliyor. Uzun süre boyunca konveksiyon fırınlarına güvendik; ancak dürüst olmak gerekirse, devasa bir hava kutusunu ısıtmak büyük bir enerji israfıdır.

İşte bu yüzden infraruj (IR) yöntemine geçtik. Bu yöntemde ısı doğrudan wafer yüzeyine iletilir. Ancak burada dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Sadece bir lamba yerleştirip işi bitirmek yeterli değil. Bu iş için özel olarak tasarlanmış bir yansıtıcıya ihtiyaç vardır.

Fotorezist sertleştirmesi için kızılötesi lamba

Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800

Litografi sürecinde işler böyle yürüyor. Yarım derece kadar bile olan bir değişiklik, kritik boyutları nanometreler bazında etkileyebilir. Bu durumu hemen fark edebilirsiniz; yüzeyde düzensizlikler oluşur, waferler işe yaramaz hale gelir. Termal davranışların tutarlı kalması için, vardiya sonrası bile değişikliklerin olmamasını sağlamak amacıyla özel kızılötesi lambalar kullanıyoruz.

Teknik açıdan önemli olanlar Hızlı tepki veren kuvars kaplamalı kısa dalga boylu kızılötesi cihazlar kullanıyoruz. Isı, taşıyıcı malzemeyi ısıtmadan doğrudan fotoresist tabakasına ulaşır; böylece ±0,1°C’lik bir eşitlik elde edilir ve işlem parametreleri sabit kalır. Sistem temiz kalır; hiçbir parçacık oluşmaz, bu da temiz oda sınıfları 1–100 için uygundur. Ayrıca sistem, standart SEMI arayüzleriyle uyumlu çalışır. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca sabit kalır ve yoğunlukta %5’ten az bir düşüş olur.