فیکٹری کے پلانٹ میں، 300 ملی میٹر کے سائز کے ویفروں میں ہزاروں ڈائس موجود ہوتے ہیں، اور ان میں سے ہر ایک ڈائس حرارتی تغیرات کے لحاظ سے حساس ہوتا ہے۔ لیتھوگرافی پروسیس میں، “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” جیسے مراحل سے ابعاد کی درستگی کو یقینی بنایا جاتا ہے۔ اگر آئی آر ذریعہ یکسانیت برقرار نہ رکھ سکے، تو لائن کی چوڑائی میں تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں، جس کی وجہ سے پروڈکشن کی شرح متاثر ہوتی ہے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں:
ہم نے ایک ایسا سسٹم تیار کیا ہے جو ویفر پر ±0.1°C کی درستگی کو برقرار رکھتا ہے؛ اس کے لئے ہم نے مختصر-تردد والے آئی آر ایمیٹرز استعمال کئے، جن کی روشنی کی شدت کو بہت درست طریقے سے کنٹرول کیا جاتا ہے۔ حرارتی پروفائل ہر بار یکساں رہتا ہے، اور ہم نے کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں کسی قسم کے ذرات کی موجودگی کو ختم کر دیا ہے۔ یہ سسٹم کوارٹز سے الگ کردہ علاقوں، کم گیس خارج کرنے والے مواد، اور 24/7 کارکردگی کے ساتھ کام کرتا ہے، تاکہ کسی قسم کی بلاوجہ تاخیر نہ ہو۔ فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران درجہ حرارت کی درستگی بہت اہم ہے؛ اسے ناپا جاتا ہے، ریکارڈ کیا جاتا ہے، اور اسے محفوظ کیا جاتا ہے۔
اہم بات یہ ہے کہ: پروسیس کو منظم طریقے سے چلانا ضروری ہے، قیاس آرائیوں سے کام نہیں چل سکتا۔ یہ سسٹم حرارتی توازن کو برقرار رکھتا ہے، تاکہ اہم ابعاد درست رہیں، اور غلطیوں کی شرح کم ہو جائے۔ سائیکل ٹائم بھی بہتر ہو جاتا ہے، کیوں کہ بیکنگ کے مرحلے میں پروفائل کے مستحکم ہونے کا انتظار نہیں کرنا پڑتا۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ ایمیٹرز کی کارکردگی بہت اچھی ہے۔ نتیجے کے طور پر، فضول مال کم ہو جاتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہیں رہتی، اور پروڈکشن عمل میٹرولوجیکل معیارات کے مطابق چلتا ہے۔
اس کے علاوہ، یہ سسٹم پروسیس کی درستگی کو برقرار رکھتا ہے۔ اب مزید بیکنگ کے دوران پیش آنے والی غلطیوں کی وضاحت کرنے کی ضرورت نہیں رہتی۔ پروسیس مطلوبہ طریقے سے چلتا ہے، اور اعداد و شمار بھی مستقل رہتے ہیں۔
سیٹ اپ کے بارے میں جاننا ضروری ہے: اس کے لئے آپ کو ایک الگ پاور سرکٹ اور کلین روم کے معیارات کے مطابق وینٹیلیشن سسٹم کی ضرورت ہے۔ یہ سسٹم معیاری ویفر چکس اور SEMI انٹرفیسز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن مکمل جانچ کے لئے آپ کے خاص فوٹوریزسٹ اور بیکنگ پروسیس کی ضرورت ہے۔ دو دن کا وقت مختص کرکے علاقوں کو ایڈجسٹ کریں، اور حرارتی پروفائل کی درستگی کی جانچ کریں۔