Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ trong quá trình nung thay đổi khoảng nửa độ, thì hình dạng của lớp phim quang học sẽ bị thay đổi. Việc kiểm soát độ dày của các đường nét, khả năng bám dính của lớp phim, cũng như mật độ các khiếm khuyết – tất cả đều phụ thuộc vào việc kiểm soát chính xác nhiệt độ. Chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn hồng ngoại để đảm bảo sự ổn định về nhiệt độ.
Cơ chế hoạt động của chúng khá đơn giản: ánh sáng hồng ngoại tia ngắn chiếu trực tiếp lên wafer, giúp tăng nhiệt độ một cách nhanh chóng và duy trì mức nhiệt độ ổn định. Các bóng đèn này được thiết kế để tăng nhiệt độ nhanh chóng và duy trì mức nhiệt độ ổn định, giúp đảm bảo mức độ ổn định của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer trong khoảng ±0,1°C. Quy trình nung ở chế độ “mềm” hoặc “cứng” cũng được kiểm soát chính xác về nhiệt độ, giúp các kích thước quan trọng của wafer luôn ở mức chấp nhận được.
Khả năng hoạt động trong môi trường phòng sạch cũng được tính toán kỹ lưỡng: các vật liệu có tỷ lệ phát khí thấp, các bộ phận được đóng kín, và không có sự tạo ra các hạt bụi, giúp duy trì mức độ bụi ở mức Class 1–100, như yêu cầu. Những thiết bị này được thiết kế để hoạt động 24/7, với thời gian hoạt động lên tới 5.000 giờ, đồng thời vẫn duy trì được mức độ ổn định về nhiệt độ.
Điều này rất quan trọng: hiệu suất hoạt động và tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn phụ thuộc trực tiếp vào mức độ ổn định của nhiệt độ. Bằng cách kiểm soát chính xác nhiệt độ, chúng ta có thể tránh việc phải sửa chữa lại lớp phim quang học, cũng như tránh việc phải vứt bỏ các wafer do sự không ổn định về nhiệt độ. Phản ứng nhanh của hệ thống giúp rút ngắn thời gian xử lý, mà vẫn duy trì được sự ổn định về nhiệt độ. Trên thực tế, điều này giúp giảm số lượng khiếm khuyết trên wafer, và giúp việc bảo trì trở nên dễ dàng hơn.
Một điểm cần lưu ý: các bóng đèn hồng ngoại đòi hỏi khoảng cách lắp đặt chính xác và độ căn chỉnh tốt để đảm bảo sự ổn định về nhiệt độ. Hãy lên kế hoạch cho việc tích hợp các bộ phận này một cách chính xác, và kiểm tra mức độ kết nối nhiệt với bảng nung hoặc các bộ phận liên quan. Hãy kiểm tra kỹ lưỡng điện áp và các kết nối từ sớm để tránh những sai sót trong quá trình vận hành. Khi mọi thứ được căn chỉnh chính xác, hệ thống sẽ hoạt động như dự kiến: ổn định, có thể lặp lại được, và được kiểm soát chặt chẽ.