Hãy ngừng việc sưởi ấm các bộ phận bên trong thiết bị đi – thay vào đó, hãy tập trung năng lượng vào việc làm nóng các tấm wafer. Việc đưa các tấm...

Trên bề mặt wafer, việc thay đổi nhiệt độ chỉ trong khoảng nửa độ cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer, gây ra hiện tượng tích...