http://carbon-ir-heater.com/vi/tags/cmp/ Recent content in CMP on Tiên tiến carbon bộ sưởi hồng ngoại Hugo vi Wed, 17 Jun 2026 11:39:22 +0800 http://carbon-ir-heater.com/vi/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:39:22 +0800 http://carbon-ir-heater.com/vi/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Lò sấy wafer sau quy trình CMP"></p> <p>Quá trình sấy sauCMP là một trong những yếu tố gây giảm tỷ lệ thành công trong quy trình sản xuất. Các vết nước, vết xước nhỏ, và sự tích tụ của các hạt bụi đều xuất phát từ cùng một nguyên nhân: nhiệt độ không ổn định và sự phân bố nhiệt không đồng đều. Thiết bị sấy sauCMP không thể chỉ đơn giản là thổi khí nóng vào; nó cần phải kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, để mọi lần xử lý đều diễn ra trong khoảng nhiệt độ cho phép.</p>