http://carbon-ir-heater.com/zh/tags/%E6%9C%80%E4%BD%B3/ Recent content in 最佳 on 先进 碳 红外线加热器 Hugo zh Thu, 02 Jul 2026 03:27:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/zh/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Thu, 02 Jul 2026 03:27:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/zh/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="最适合用于光刻胶的红外灯"></p> <p>在光刻工艺中，有一个至关重要的原则：如果烘烤温度有半度的偏差，那么光阻层的特性就会<a href="https://o-yate.net">受到影响</a>。线宽控制、附着力以及缺陷密度等问题，都取决于能否精确控制温度。我们设计的红外灯组就是为了确保温度的精确控制。</p> <p>其技术原理其实很简单：短波红外光直接照射到晶圆上，能够快速提升温度，同时保持温度的均匀性。我们选用了石英卤素发光体，这种发光体能够实现快速升温且保持稳定的温度状态，从而使晶圆表面的温度均匀性保持在±0.1℃以内。无论是软烘还是硬烘过程，都能实现可重复的温度控制，从而确保每次生产的晶圆尺寸都符合标准。</p>