في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، كما تعلمون، فإن أي اختلاف في درجة الحرارة، حتى لو كان نصف درجة واحدة، قد يؤدي إلى تغييرات في الأبعاد الحرجة بمقدار نانومترات. يمكن ملاحظة ذلك على الفور: ظهور عيوب على سطح الرقاقات، وبالتالي يصبح من المستحيل استخدام هذه الرقاقات. لذلك، قمنا بتطوير أجهزة إشعاع تحت الأحمر لضمان استقرار درجة الحرارة، حتى خلال فترات التشغيل المتواصلة.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أجهزة إشعاع تحت الأحمر ذات الموجات القصيرة، مع غلاف من الكوارتز يسمح بتفاعل سريع. يتم نقل الحرارة مباشرة إلى طبقة المادة الحساسة للضوء، دون أن يحدث تأثير على الرقاقة نفسها، مما يؤدي إلى تحقيق درجة توحيد تصل إلى ±0.1 درجة مئوية، وبالتالي يمكن الحفاظ على استقرار درجة الحرارة خلال فترات التشغيل المتواصلة. كما أن النظام يظل نظيفًا، دون أي توليد للجسيمات، وهو ما يتناسب مع معايير الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100. بالإضافة إلى ذلك، فإن النظام يتوافق مع الواجهات القياسية لشركة SEMI. يظل أداء النظام مستقرًا لأكثر من 5,000 ساعة، مع انخفاض في الشدة بنسبة أقل من 5%.
عملية معالجة المادة الحساسة للضوء تتطلب التحكم الدقيق في درجة الحرارة. يجب أن تصل درجة الحرارة إلى القيمة المطلوبة بسرعة، ثم تظل ثابتة، ثم تنخفض بشكل تدريجي. أجهزة الإشعاع التي نستخدمها تقلل من وقت التعرض للحرارة وتساعد في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة في غضون ثوانٍ، مما يسمح بزيادة الإنتاج دون الحاجة إلى استخدام طاقة أكبر.
يتم تكرار نفس النمط الحراري في كل دفعة من الرقاقات. هذا الاستقرار هو ما يساعد في الحفاظ على دقة الأبعاد وزيادة كفاءة الإنتاج. في خطوط الإنتاج التي تعمل على مدار 7 أيام في الأسبوع، 24 ساعة في اليوم، يتم الحفاظ على عدم وجود أوقات توقف غير مخطط لها، ويتم إجراء الصيانة في الوقت المحدد، بدلاً من حدوث مشاكل مفاجئة.
هناك بعض الأشياء التي يجب مراعاتها. عملية التركيب سهلة، لكن يجب ضمان توافق المواقع بين الجهاز والرقاقة، بالإضافة إلى ضمان توافق موجات الإشعاع مع نطاق الامتصاص لدى المادة الحساسة للضوء. فكل نوع من المواد الحساسة للضوء يحتاج إلى نمط إشعاع مختلف، لذلك نقوم بتحديد مواصفات النظام بناءً على ذلك.